|
Код (при наличии профессионального стандарта)
|
Наименование трудовой функции (профессиональной задачи, обязанности)
|
Трудовые действия
|
Необходимые умения
|
Необходимые знания
|
Дополнительные сведения (при необходимости)
|
|
A/01.4
|
Проведение операций жидкостной прецизионной обработки при производстве изделий микроэлектроники
|
Подготовка к проведению технологического процесса
|
Работать в системе автоматизированного управления производством
|
Правила оформления ввода информации о проведенной операции
|
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Проверять статус оборудования
|
|
Осуществление входа в систему автоматизированного управления производством и запуск партии продукции в соответствии с маршрутом
|
Проверять статус оборудования
|
Условия, требуемые для обработки продукции и выполнения процедур проведения технологических операций
|
|
Проверять партию продукции, выбранной в работу, на соответствие информации системы автоматизированного управления производством
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Порядок действий при сбойных ситуациях на автоматических и полуавтоматических установках
|
|
Загрузка продукции в технологическое оборудование в ручном и автоматическом режиме
|
Проверять партию продукции, выбранной в работу, на соответствие информации системы автоматизированного управления производством
|
Технологическая документация (операционные карты универсальные, инструкции) по проведению технологических операций на специализированном оборудовании
|
|
Проводить процесс в ручном и автоматическом режиме
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Выбирать в работу партию из списка в сменном задании в соответствии с приоритетами обработки, требованиями межоперационного времени хранения, рекомендациями системы автоматизированного управления производством, указаниями начальника смены
|
|
Работать с пластинами в контейнерах, загрузочными устройствами автоматизированного оборудования
|
|
|
|
Проведение технологического процесса
|
Запускать рецепт на установке
|
Планировка чистого производственного помещения и расположение технологического оборудования
|
|
Проводить процесс в ручном и автоматическом режиме
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Выгружать партии из установки
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Контроль пластин после проведения операции, сдача обработанной продукции
|
Проводить процесс в ручном и автоматическом режиме
|
Наименования и свойства используемых материалов
|
|
Работать с пластинами в контейнерах, загрузочными устройствами автоматизированного оборудования
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Ввод информации о проведенном процессе (в систему автоматизированного управления производством, в сопроводительные листы и рабочие журналы)
|
Выбирать в работу партию из списка в сменном задании в соответствии с приоритетами обработки, требованиями межоперационного времени хранения, рекомендациями системы автоматизированного управления производством, указаниями начальника смены
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
|
|
Заполнение сопроводительных листов, рабочих журналов, запись данных о проведении операции в маршрутную карту (при работе без автоматизированной системы управления производством) и журнал передачи смены
|
Выбирать в работу партию из списка в сменном задании в соответствии с приоритетами обработки, требованиями межоперационного времени хранения, рекомендациями системы автоматизированного управления производством, указаниями начальника смены
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
|
Перевод партии на следующую операцию в системе автоматизированного управления производством
|
Работать с пластинами в контейнерах, загрузочными устройствами автоматизированного оборудования
|
Правила поведения и работы в чистом производственном помещении
|
|
Факторы влияния агрессивности активной среды (составы травящих растворов, соотношения объемных частей компонентов в растворе, концентрации химических реактивов, pH раствора, температуры, время воздействия) на прецизионность обработки
|
|
Подготовка рабочего места до проведения операции и уборка рабочего места после проведения операций
|
Запускать рецепт обработки партии непосредственно на установке, либо с помощью сканера, последовательно считывая штрихкоды, либо с помощью смартфона, последовательно считывая радиометки
|
|
Работать с пластинами в контейнерах, загрузочными устройствами автоматизированного оборудования
|
|
Правила поведения и работы в чистом производственном помещении
|
|
Характеристики сред, влияющих на достижение необходимой точности процесса
|
|
Осуществлять контроль работы оборудования с помощью устройств отображения информации (мониторов)
|
|
Основные этапы технологических маршрутов изготовления интегральных микросхем
|
|
Действовать в нештатных ситуациях, возникающих на оборудовании жидкостной прецизионной обработки
|
|
Опасные и вредные факторы используемых агрессивных сред
|
|
|
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
Техника безопасности при работе с жидкими химическими реактивами
|
|
|
Правила пожарной безопасности при проведении технологической операции
|
|
Критерии качества процесса жидкостной прецизионной обработки (толщина стравливаемого слоя, линейные размеры вытравленных областей, отсутствие остатков фоторезиста и полимерных остатков на пластинах, отсутствие дефектов на пластинах)
|
|
Правила технологической дисциплины, предупреждающие возникновение дефектов прецизионной жидкостной обработки
|
|
Причины дефектообразования (сбой в работе оборудования, работа на неаттестованном оборудовании, подача некачественных энергоносителей, неправильный выбор рецепта)
|
|
Экологические аспекты использования жидких химических реактивов
|
|
Порядок действий при сбойных ситуациях на автоматических и полуавтоматических установках
|
|
|
|
|
|
Требования производственной и трудовой дисциплины, правила внутреннего трудового распорядка, правила и нормы охраны труда и техники безопасности, производственной санитарии и электронной гигиены
|
|
|
Основы общей химии в пределах выполняемой работы, назначение и свойства применяемых реактивов
|
|
Основы устройства и принципы работы вверенных оператору жидкостного прецизионного травления полуавтоматических и автоматических установок
|
|
Требования системы менеджмента качества
|
|
Требования, предъявляемые к условиям производства
|
|
Культура производства и вакуумная гигиена
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
A/02.4
|
Контроль качества проведения операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
|
Проведение визуального контроля обработанной продукции на микроскопе (микроконтроль)
|
Работать с микроскопом и другим измерительным оборудованием визуального контроля
|
Виды дефектов поверхности пластин и каждого технологического слоя
|
|
|
Правила работы в чистом производственном помещении
|
|
Работать с пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего распорядка, правила и нормы охраны труда и техники безопасности, производственной санитарии и электронной гигиены
|
|
Измерение толщин технологических слоев после проведения операции прецизионного травления слоя на автоматизированном измерительном оборудовании
|
Работать на установках измерения толщин технологических слоев
|
Контролируемые параметры и границы спецификации технологических операций
|
|
Работать с пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
Правила работы в чистом производственном помещении
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Запускать измерительные рецепты на измерительных установках непосредственно на установке либо с помощью системы автоматизированного управления производством
|
|
Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего распорядка, правила и нормы охраны труда и техники безопасности, производственной санитарии и электронной гигиены
|
|
Определение остаточных дефектов (частиц) с использованием лазерных анализаторов поверхности в автоматическом режиме
|
Работать на установках контроля линейных размеров структур
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Работать с пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
Правила работы в чистом производственном помещении
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Запускать измерительные рецепты на измерительных установках непосредственно на установке либо с помощью системы автоматизированного управления производством
|
|
Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего распорядка, правила и нормы охраны труда и техники безопасности, производственной санитарии и электронной гигиены
|
|
Контроль линейных размеров вытравленных участков после проведения операции прецизионного травления при наличии/отсутствии маски на сканирующем электронном микроскопе в автоматическом режиме
|
Работать на лазерных анализаторах поверхности
|
Правила работы в чистом производственном помещении
|
|
Работать с пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Запускать измерительные рецепты на измерительных установках непосредственно на установке либо с помощью системы автоматизированного управления
|
|
Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего распорядка, правила и нормы охраны труда и техники безопасности, производственной санитарии и электронной гигиены производством
|
|
Макроинспекция лицевой и обратной стороны пластины с целью выявления царапин, пятен и крупных дефектов
|
Работать с пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Правила работы в чистом производственном помещении
|
|
Внесение результатов измерения и контроля в сопроводительную документацию на изделие
|
Работать в автоматизированной системе управления производством Запускать измерительные рецепты на измерительных установках непосредственно на установке либо с помощью системы автоматизированного управления производством
|
Правила оформления ввода информации о проведенной операции
|
|
Правила эксплуатации и режимы работы используемого измерительного оборудования
|
|
Планировка чистого производственного помещения и расположение измерительного оборудования
|
|
Работать на оборудовании автоматического поиска дефектов на пластинах с топологией после прохождения специализированных курсов обучения работы на установках данного типа
|
|
Операционные карты универсальные на измерительное оборудование
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Правила техники безопасности и пожарной безопасности при работе на измерительном оборудовании
|
|
Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего распорядка, правила и нормы охраны труда и техники безопасности, производственной санитарии и электронной гигиены
|
|
Требования системы менеджмента качества
|
|
Физические основы методов контроля толщин технологических слоев, размеров структур и дефектности поверхности
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Контрольная карта изделия
|
|
Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации используемого оборудования
|
|
Порядок действий при сбойных ситуациях на метрологическом оборудовании
|
|
Культура производства и вакуумная гигиена
|
|
A/03.4
|
Выполнение действий при выявлении отклонений от установленных требований при проведении операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
|
Регистрация выявленного несоответствия продукции изделий микроэлектроники
|
Идентифицировать партию предупреждающей биркой, останавливать обработку партии в системе автоматизированного управления производством, выполнять проверку соответствия маркировки пластин партии сопроводительному листу, данным автоматизированной системы управления производством
|
Отклонения от установленных требований, способные влиять на качество продукции
|
|
|
Порядок действий при выявлении отклонений от установленных требований
|
|
Причины дефектообразования (сбой в работе оборудования, работа на неаттестованном оборудовании, подача некачественных энергоносителей, неправильный выбор рецепта)
|
|
Обнаруживать пересортицу, обнаруживать несоответствие между контрольной картой в базе системы автоматизированного управления производством и сопроводительным листом на партию
|
|
Работать с вакуумными пинцетами для перемещения пластин из транспортной кассеты/в транспортную кассету
|
|
Оповещение начальника смены и инженера-технолога для проведения немедленных действий при несоответствии
|
Обнаруживать пересортицу, обнаруживать несоответствие между контрольной картой в базе системы автоматизированного управления производством и сопроводительным листом на партию
|
Порядок действий при выявлении отклонений от установленных требований
|
|
Причины дефектообразования (сбой в работе оборудования, работа на неаттестованном оборудовании, подача некачественных энергоносителей, неправильный выбор рецепта)
|
|
Работать с вакуумными пинцетами для перемещения пластин из транспортной кассеты/в транспортную кассету
|
|
|
|
Выполнение необходимого дополнительного контроля партии продукции изделий микроэлектроники (визуального, технического, документального) для оценки объема несоответствия в соответствии с планом действий при выявлении отклонений от установленных требований
|
Работать на установке сортировки пластин
|
Правила обращения с несоответствующей и забракованной продукцией
|
|
|
Обращаться с разбитыми пластинами: помещать осколки в специальный контейнер, делать запись о количестве и номерах разбитых пластин в сигнальный талон или предоставлять мастеру необходимую информацию о браке
|
|
Порядок действий при выявлении отклонений от установленных требований
|
|
Причины дефектообразования (сбой в работе оборудования, работа на неаттестованном оборудовании, подача некачественных энергоносителей, неправильный выбор рецепта)
|
|
Работать с вакуумными пинцетами для перемещения пластин из транспортной кассеты/в транспортную кассету
|
|
Остановка обработки партии изделий микроэлектроники в автоматизированной системе управления производством и непосредственно на установке
|
Обращаться с разбитыми пластинами: помещать осколки в специальный контейнер, делать запись о количестве и номерах разбитых пластин в сигнальный талон или предоставлять мастеру необходимую информацию о браке
|
Виды возможных переделок продукции, проводить которые разрешено операторам в рамках технологической документации
|
|
Порядок действий при выявлении отклонений от установленных требований
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Работать в автоматизированной системе управления производством
|
|
Факторы влияния агрессивности активной среды (составы травящих растворов, соотношения объемных частей компонентов в растворе, концентрации химических реактивов, pH раствора, температуры, время воздействия) на прецизионность обработки
|
|
Извлекать вручную пластины из установки в транспортную кассету под руководством инженера по наладке и испытаниям оборудования при возникновении сбоя в работе оборудования при обработке изделий микроэлектроники
|
|
Работать с вакуумными пинцетами для перемещения пластин из транспортной кассеты/в транспортную кассету
|
Характеристики сред, влияющих на достижение необходимой точности процесса
|
|
Опасные и вредные факторы используемых агрессивных сред
|
|
Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего распорядка, правила и нормы охраны труда и техники безопасности, производственной санитарии и электронной гигиены
|
|
Правила обращения с опасными и агрессивными жидкими технологическими средами
|
|
Техника безопасности при работе с агрессивными и ядовитыми средами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Критерии качества процесса жидкостной прецизионной обработки (толщина стравливаемого слоя, линейные размеры вытравленных областей, отсутствие остатков фоторезиста и полимерных остатков на пластинах, отсутствие дефектов на пластинах)
|
|
|
|
|
|
Правила технологической дисциплины, предупреждающие возникновение дефектов прецизионной жидкостной обработки
|
|
|
Причины дефектообразования (сбой в работе оборудования, работа на неаттестованном оборудовании, подача некачественных энергоносителей, неправильный выбор рецепта)
|
|
Экологические аспекты использования жидких химических реактивов
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Правила техники безопасности при работе на оборудовании и пожарной безопасности
|
|
Культура производства и вакуумная гигиена
|