|
Код (при наличии профессионального стандарта)
|
Наименование трудовой функции (профессиональной задачи, обязанности)
|
Трудовые действия
|
Необходимые умения
|
Необходимые знания
|
Дополнительные сведения (при необходимости)
|
|
B/01.4
|
Подготовка вспомогательных пластин и выполнение операций аттестации установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
|
Подготовка к выполнению аттестационного процесса
|
Работать на установке сортировки пластин
|
Правила поведения и работы в чистом производственном помещении
|
|
|
Выбирать единицу оборудования и тесты в соответствии с планом-графиком аттестации оборудования и указаниями системы автоматизированного управления производством
|
|
План контроля каждой единицы оборудования, находящейся в зоне ответственности
|
|
Типы партий вспомогательных пластин (источники, мониторные, накопители, реставрируемые, балластные, квалификационные и другие)
|
|
Проведение аттестационного процесса
|
Выбирать единицу оборудования и тесты в соответствии с планом-графиком аттестации оборудования и указаниями системы автоматизированного управления производством
|
План контроля каждой единицы оборудования, находящейся в зоне ответственности
|
|
Типы партий вспомогательных пластин (источники, мониторные, накопители, реставрируемые, балластные, квалификационные и другие)
|
|
Запускать маршрут аттестации в системе автоматизированного управления производством
|
|
Отбирать необходимые для аттестации мониторные пластины
|
|
Проводить предварительные замеры на мониторных пластинах
|
|
Запускать аттестационный рецепт на оборудовании
|
|
Загружать аттестационные пластины из контейнера в установку
|
|
Определение остаточных дефектов (частиц) с использованием лазерных анализаторов поверхности
|
Запускать маршрут аттестации в системе автоматизированного управления производством
|
Типы партий вспомогательных пластин (источники, мониторные, накопители, реставрируемые, балластные, квалификационные и другие)
|
|
Проведение повторных замеров на пластинах после проведения аттестационного процесса, регистрация (внесение в базу данных), анализ соответствия полученных результатов аттестации нормам
|
Отбирать необходимые для аттестации мониторные пластины
|
Операционные карты универсальные на оборудование жидкостной прецизионной обработки и измерительное оборудование, рабочие технологические инструкции
|
|
Проводить предварительные замеры на мониторных пластинах
|
|
Внесение полученных результатов аттестационных процессов в карты статистического управления с применением системы автоматизированного управления производством
|
Проводить предварительные замеры на мониторных пластинах
|
Факторы влияния агрессивности активной среды (составы травящих растворов, соотношения объемных частей компонентов в растворе, концентрации химических реактивов, pH раствора, температуры, время воздействия) на прецизионность обработки
|
|
Запускать аттестационный рецепт на оборудовании
|
|
Загружать аттестационные пластины из контейнера в установку
|
|
Выгружать аттестационные пластины из установки в контейнеры
|
|
Характеристики сред, влияющих на достижение необходимой точности процесса
|
|
Опасные и вредные факторы используемых агрессивных сред
|
|
Правила обращения с опасными и агрессивными жидкими технологическими средами
|
|
Подготовка мониторных пластин в соответствии с технологической инструкцией
|
Работать на установке контроля дефектности для пластин без сформированного рисунка (лазерном анализаторе поверхности)
|
Техника безопасности при работе с жидкими химическими реактивами
|
|
Критерии качества процесса жидкостной прецизионной обработки (толщина стравливаемого слоя, линейные размеры вытравленных областей, отсутствие остатков фоторезиста и полимерных остатков на пластинах, отсутствие дефектов на пластинах)
|
|
Работать на установке измерения параметров металлических слоев
|
|
Работать на установках измерения толщин непроводящих слоев
|
|
Работать на установках контроля поверхностного сопротивления слоев
|
Правила технологической дисциплины, предупреждающие возникновение дефектов жидкостной прецизионной обработки
|
|
Использовать систему автоматизированного управления производством при проведении тестов проверки технологической готовности оборудования
|
|
Причины дефектообразования (сбой в работе оборудования, работа на неаттестованном оборудовании, подача некачественных энергоносителей, неправильный выбор рецепта)
|
|
Вносить полученные результаты аттестационных процессов в карты статистического управления с применением системы автоматизированного управления производством
|
|
Экологические аспекты использования жидких химических реактивов
|
|
Методология и принципы статистического управления процессами (методы статистического регулирования, контрольные карты, контрольные границы, анализ трендов значений параметров)
|
|
Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего распорядка, правила и нормы охраны труда и техники безопасности, производственной санитарии и электронной гигиены
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Правила оформления ввода информации о проведенной операции
|
|
Основные этапы технологических маршрутов изготовления интегральных микросхем
|
|
Требования системы менеджмента качества
|
|
Правила техники безопасности при работе на оборудовании и пожарной безопасности
|
|
Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации используемого оборудования
|
|
Культура производства и вакуумная гигиена
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
B/02.4
|
Выполнение действий при отклонении результатов аттестаций установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники от контрольных границ значений параметров
|
Анализ отклонений и выбор действий по устранению отклонения при выходе параметров процесса за статистические контрольные границы при работе на каждой конкретной установке
|
Устанавливать в системе автоматизированного управления производством статус оборудования ("работоспособное" либо "неработоспособное")
|
Правила работы в чистом производственном помещении
|
|
|
Технологические инструкции по действиям при отклонении параметров при проведении аттестационных процессов для каждой единицы оборудования
|
|
Осуществлять действия при отклонениях параметров процессов согласно технологическим инструкциям
|
|
Контрольные границы значений параметров оборудования (допустимые значения скоростей травления, дефектности, загрязнения поверхности примесями)
|
|
Делать записи в журнале передачи смен или в системе автоматизированного управления производством при выявлении ошибок при проведении аттестации (ошибка ввода данных в систему автоматизированного управления производством, выбор неправильного измерительного рецепта)
|
|
Критерии качества процесса жидкостной прецизионной обработки (толщина стравливаемого слоя, линейные размеры вытравленных областей, отсутствие остатков фоторезиста и полимерных остатков на пластинах, отсутствие дефектов на пластинах)
|
|
Исправлять данные по полученным параметрам после повторных измерений, если первоначально измерительный рецепт был выбран неправильно
|
|
Перевод статуса состояния оборудования из статуса "работоспособное" в статус "неработоспособное" при выявлении отклонения параметров процесса
|
Работать на автоматизированных установках жидкостной прецизионной обработки
|
Технологические инструкции по действиям при отклонении параметров при проведении аттестационных процессов для каждой единицы оборудования
|
|
Делать записи в журнале передачи смен или в системе автоматизированного управления производством при выявлении ошибок при проведении аттестации (ошибка ввода данных в систему автоматизированного управления производством, выбор неправильного измерительного рецепта)
|
|
Анализ корректности данных, внесенных в систему автоматизированного управления производством
|
Осуществлять действия при отклонениях параметров процессов согласно технологическим инструкциям
|
Контрольные границы значений параметров оборудования (допустимые значения скоростей травления, дефектности, загрязнения поверхности примесями)
|
|
Делать записи в журнале передачи смен или в системе автоматизированного управления производством при выявлении ошибок при проведении аттестации (ошибка ввода данных в систему автоматизированного управления производством, выбор неправильного измерительного рецепта)
|
|
Оповещение инженера-технолога для исправления некорректного ввода данных в систему автоматизированного управления производством
|
Делать записи в журнале передачи смен или в системе автоматизированного управления производством при выявлении ошибок при проведении аттестации (ошибка ввода данных в систему автоматизированного управления производством, выбор неправильного измерительного рецепта)
|
Причины и порядок проведения внеплановой аттестации оборудования
|
|
Факторы влияния агрессивности активной среды (составы травящих растворов, соотношения объемных частей компонентов в растворе, концентрации химических реактивов, pH раствора, температуры, время воздействия) на прецизионность обработки
|
|
Исправлять данные по полученным параметрам после повторных измерений, если первоначально измерительный рецепт был выбран неправильно
|
|
Характеристики сред, влияющих на достижение необходимой точности процесса
|
|
Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего распорядка, правила и нормы охраны труда и техники безопасности, производственной санитарии и электронной гигиены
|
|
Опасные и вредные факторы используемых агрессивных сред
|
|
Правила обращения с опасными и агрессивными жидкими технологическими средами
|
|
Техника безопасности при работе с агрессивными и ядовитыми средами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Критерии качества процесса жидкостной прецизионной обработки (толщина стравливаемого слоя, линейные размеры вытравленных областей, отсутствие остатков фоторезиста и полимерных остатков на пластинах, отсутствие дефектов на пластинах)
|
|
Правила технологической дисциплины, предупреждающие возникновение дефектов жидкостной прецизионной обработки
|
|
Причины дефектообразования (сбой в работе оборудования, работа на неаттестованном оборудовании, подача некачественных энергоносителей, неправильный выбор рецепта)
|
|
Экологические аспекты использования жидких химических реактивов (возможное влияние используемых химических реактивов на окружающую среду, способы утилизации использованных химических реактивов, требования экологических стандартов для производств, использующих химические реактивы, способы сокращения потребления химических реактивов)
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Правила оформления ввода информации о проведенной операции
|
|
Основные этапы технологических маршрутов изготовления интегральных микросхем
|
|
Требования системы менеджмента качества
|
|
Правила техники безопасности при работе на оборудовании и пожарной безопасности
|
|
Культура производства и вакуумная гигиена
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
B/03.4
|
Проведение реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
|
Подготовка к выполнению реставрационного процесса
|
Работать на установке сортировки пластин
|
Правила работы в чистом производственном помещении
|
|
|
Отбирать пластины для реставрации
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Проведение операций реставрации
|
Работать на установке сортировки пластин
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Отбирать пластины для реставрации
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Определение остаточной толщины технологического слоя на установках измерения толщин
|
Выбирать маршрут реставрации в системе автоматизированного управления производством
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Определение остаточных дефектов (частиц) на установке контроля дефектности для пластин без сформированного рисунка
|
Выбирать единицы оборудования и режимы операций в соответствии с технологической документацией
|
Правила ввода информации о проведенной операции
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Проводить предварительные замеры на пластинах
|
|
Порядок разбраковки пластин и отправки на регенерацию
|
|
Проведение повторных замеров на пластинах после проведения реставрации, анализ соответствия полученных результатов нормам для каждого вида вспомогательных пластин
|
Проводить предварительные замеры на пластинах
|
Порядок разбраковки пластин и отправки на регенерацию
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления производством
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Сортировка пластин по уровню дефектности
|
Выгружать реставрируемые пластины из установки
|
Типы партий вспомогательных пластин (источники, мониторные, накопители, реставрируемые, балластные, квалификационные и другие)
|
|
Работать на установке контроля дефектности для пластин без сформированного рисунка
|
|
Нормы контроля для каждого вида вспомогательных пластин
|
|
Работать на установках измерения толщин непроводящих слоев
|
|
Правила работы с автоматизированной системой управления
|
|
Сортировать пластины по уровню дефектности
|
|
Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
|
|
Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего распорядка, правила и нормы охраны труда и техники безопасности, производственной санитарии и электронной гигиены
|
|
Культура производства и вакуумная гигиена
|