Срок действия документа ограничен 1 сентября 2028 года.

Приложение 5

к приказу АНО НАРК

от 11.10.2023 N 119/23-ПР

НАИМЕНОВАНИЯ КВАЛИФИКАЦИЙ И ТРЕБОВАНИЯ

К КВАЛИФИКАЦИЯМ, НА СООТВЕТСТВИЕ КОТОРЫМ ПРОВОДИТСЯ

НЕЗАВИСИМАЯ ОЦЕНКА КВАЛИФИКАЦИИ, ПРЕДСТАВЛЕННЫЕ СОВЕТОМ

ПО ПРОФЕССИОНАЛЬНЫМ КВАЛИФИКАЦИЯМ В СФЕРЕ

НАНОТЕХНОЛОГИЙ И МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

1. Наименование квалификации: Оператор элионных процессов изделий микроэлектроники 4-го разряда (4-й уровень квалификации)

2. Номер квалификации 40.23400.01

3. Уровень (подуровень) квалификации 4

4. Область профессиональной деятельности: Сквозные виды профессиональной деятельности в промышленности

5. Вид профессиональной деятельности: Выполнение элионных процессов при производстве изделий микроэлектроники

6. Реквизиты протокола Совета об одобрении квалификации: протокол заседания СПК в сфере нанотехнологий и микроэлектроники от 21.06.2023 N 69.

7. Реквизиты приказа Национального агентства об утверждении квалификации: 119/23-ПР от 11.10.2023.

8. Основание разработки квалификации:

Вид документа

Полное наименование и реквизиты документа

Профессиональный стандарт (при наличии)

"Оператор элионных процессов изделий микроэлектроники",

приказ Министерства труда и социальной защиты РФ от 21 марта 2022 г. N 146н

Квалификационное требование, установленное федеральным законом и иным нормативным правовым актом Российской Федерации (при наличии)

Квалификационная характеристика, связанная с видом профессиональной деятельности

9. Трудовые функции (профессиональные задачи, обязанности) и их характеристики:

Код (при наличии профессионального стандарта)

Наименование трудовой функции (профессиональной задачи, обязанности)

Трудовые действия

Необходимые умения

Необходимые знания

Дополнительные сведения (при необходимости)

A/01.4

Подготовка установок и рабочей продукции к проведению элионных процессов при производстве изделий микроэлектроники

Проверка готовности ионнолучевых установок для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять техническое и технологическое состояние установок, используемых для производства изделий микроэлектроники, в автоматизированной системе управления производством

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации установок ионного легирования, плазмохимического травления, вакуумного напыления и осаждения, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Подготавливать установки к проведению элионных процессов в соответствии с технологической документацией по изготовлению изделий микроэлектроники

Операционные универсальные карты по выполнению технологических операций на установках плазмохимического травления, ионного легирования, вакуумного напыления и осаждения, используемые для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать в автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с технологической оснасткой, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологических установок, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве

Правила работы с автоматизированной системой управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Проверка готовности установок плазмохимического травления полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев, в том числе с использованием высокоплотной плазмы, для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять техническое и технологическое состояние установок, используемых для производства изделий микроэлектроники, в автоматизированной системе управления производством

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации установок ионного легирования, плазмохимического травления, вакуумного напыления и осаждения, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Подготавливать установки к проведению элионных процессов в соответствии с технологической документацией по изготовлению изделий микроэлектроники

Операционные универсальные карты по выполнению технологических операций на установках плазмохимического травления, ионного легирования, вакуумного напыления и осаждения, используемые для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать в автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с технологической оснасткой, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологических установок, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве

Правила работы с автоматизированной системой управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Проверка готовности установок плазмохимического удаления фоторезиста для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять техническое и технологическое состояние установок, используемых для производства изделий микроэлектроники, в автоматизированной системе управления производством

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации установок ионного легирования, плазмохимического травления, вакуумного напыления и осаждения, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Подготавливать установки к проведению элионных процессов в соответствии с технологической документацией по изготовлению изделий микроэлектроники

Операционные универсальные карты по выполнению технологических операций на установках плазмохимического травления, ионного легирования, вакуумного напыления и осаждения, используемые для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать в автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с технологической оснасткой, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологических установок, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве

Правила работы с автоматизированной системой управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Проверка готовности установок вакуумного напыления металлических и диэлектрических слоев для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять техническое и технологическое состояние установок, используемых для производства изделий микроэлектроники, в автоматизированной системе управления производством

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации установок ионного легирования, плазмохимического травления, вакуумного напыления и осаждения, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Подготавливать установки к проведению элионных процессов в соответствии с технологической документацией по изготовлению изделий микроэлектроники

Операционные универсальные карты по выполнению технологических операций на установках плазмохимического травления, ионного легирования, вакуумного напыления и осаждения, используемые для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать в автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с технологической оснасткой, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологических установок, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве

Правила работы с автоматизированной системой управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Проверка готовности установок плазмохимического осаждения из газовой фазы полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять техническое и технологическое состояние установок, используемых для производства изделий микроэлектроники, в автоматизированной системе управления производством

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации установок ионного легирования, плазмохимического травления, вакуумного напыления и осаждения, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Подготавливать установки к проведению элионных процессов в соответствии с технологической документацией по изготовлению изделий микроэлектроники

Операционные универсальные карты по выполнению технологических операций на установках плазмохимического травления, ионного легирования, вакуумного напыления и осаждения, используемые для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать в автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с технологической оснасткой, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологических установок, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве

Правила работы с автоматизированной системой управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Подготовка рабочей продукции в соответствии со сменным заданием для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять статус рабочей продукции при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с рабочими пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Формировать сменное задание при изготовлении изделий микроэлектроники

Наименования, физико-химические свойства, назначение и условия применения, а также агрегатные состояния материалов (кислот, щелочей, инертных и реактивных газов), используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Подготавливать рабочую продукцию к проведению элионных процессов в соответствии с требованиями технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники

Работать с материалами, сырьем и установками, используемыми для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с рабочими пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с балластными пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять межоперационное время хранения рабочих пластин при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с кассетами и контейнерами для хранения и транспортировки рабочих пластин при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с рабочими пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с балластными пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с вакуумным и щипковым пинцетами при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с кассетами и контейнерами для хранения и транспортировки рабочих пластин при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила управления сопроводительными листами, используемыми для производства изделий микроэлектроники

Работать с вакуумным и щипковым пинцетами при изготовлении изделий микроэлектроники

Межоперационное время хранения рабочих пластин, используемых для производства изделий микроэлектроники

Работать с технологической оснасткой, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники

Требования системы менеджмента качества и экологического менеджмента организации

Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

A/02.4

Выполнение элионных процессов на установках при производстве изделий микроэлектроники

Загрузка рабочей продукции в установки в ручном и автоматическом режиме для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Осуществлять подготовку установок ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления к обработке рабочей продукции при изготовлении изделий микроэлектроники

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации установок плазмохимического травления, ионного легирования, осаждения и вакуумного напыления, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Обеспечивать безопасную эксплуатацию установок при ведении элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Операционные универсальные карты по выполнению технологических операций на установках плазмохимического травления, ионного легирования, вакуумного напыления и осаждения, используемые для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Осуществлять действия при нештатных ситуациях, возникающих на установках плазмохимического травления, ионного легирования, осаждения и вакуумного напыления во время проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с автоматизированной системой управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологических установок, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов изделий микроэлектроники

Требования системы менеджмента качества и экологического менеджмента организации

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Настройка параметров установок в соответствии с требованиями технологической операции и операционной картой для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Осуществлять подготовку установок ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления к обработке рабочей продукции при изготовлении изделий микроэлектроники

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации установок плазмохимического травления, ионного легирования, осаждения и вакуумного напыления, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Выбирать рецепты и режимы обработки из имеющегося перечня на установках, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Операционные универсальные карты по выполнению технологических операций на установках плазмохимического травления, ионного легирования, вакуумного напыления и осаждения, используемые для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать в автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать на установках плазмохимического травления, ионного легирования, осаждения и вакуумного напыления, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с автоматизированной системой управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Вносить разрешенные изменения в параметры технологических процессов согласно технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники

Расположение технологических установок, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов изделий микроэлектроники

Требования системы менеджмента качества и экологического менеджмента организации

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Корректировка режимов проведения технологического процесса по результатам измерений контрольных пластин в допустимом диапазоне согласно технологической документации при изготовлении изделий микроэлектроники

Вносить разрешенные изменения в параметры технологических процессов согласно технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации установок плазмохимического травления, ионного легирования, осаждения и вакуумного напыления, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Обеспечивать безопасную эксплуатацию установок при ведении элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с автоматизированной системой управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов изделий микроэлектроники

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Обработка продукции в ручном и автоматическом режиме на установках для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Осуществлять контроль работы установок, используемых для изготовления изделий микроэлектроники, с помощью средств мониторинга в составе оборудования

Основы физики процессов и основные характеристики технологических процессов ионного легирования, плазмохимического травления, вакуумного напыления и осаждения, используемые при изготовлении изделий микроэлектроники

Вносить разрешенные изменения в параметры технологических процессов согласно технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники

Наименования, физико-химические свойства, назначение и условия применения, а также агрегатные состояния материалов (кислот, щелочей, инертных и реактивных газов), используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Обеспечивать безопасную эксплуатацию установок при ведении элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологических установок, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Базовые знания в области технологических маршрутов изготовления интегральных микросхем

Место и назначение выполняемых операций в технологических маршрутах изготовления интегральных микросхем

Запуск партии по автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Осуществлять контроль работы установок, используемых для изготовления изделий микроэлектроники, с помощью средств мониторинга в составе оборудования

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Правила работы с рабочими пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Обеспечивать безопасную эксплуатацию установок при ведении элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с балластными пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Осуществлять действия при нештатных ситуациях, возникающих на установках плазмохимического травления, ионного легирования, осаждения и вакуумного напыления во время проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с кассетами и контейнерами для хранения и транспортировки рабочих пластин при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с вакуумным и щипковым пинцетами при изготовлении изделий микроэлектроники

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов изделий микроэлектроники

Требования системы менеджмента качества и экологического менеджмента организации

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Заполнение журнала обработки рабочей продукции, сопроводительного листа на продукцию, журнала передачи смен, используемых изготовлении изделий микроэлектроники

Управлять сопроводительными листами рабочих партий, используемыми при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Правила работы с рабочими пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с балластными пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с кассетами и контейнерами для хранения и транспортировки рабочих пластин при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с вакуумным и щипковым пинцетами при изготовлении изделий микроэлектроники

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов изделий микроэлектроники

Требования системы менеджмента качества и экологического менеджмента организации

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Выгрузка обработанной рабочей продукции из установок для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Обеспечивать безопасную эксплуатацию установок при ведении элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с автоматизированной системой управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники

Требования системы менеджмента качества и экологического менеджмента организации

Осуществлять действия при нештатных ситуациях, возникающих на установках плазмохимического травления, ионного легирования, осаждения и вакуумного напыления во время проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации установок плазмохимического травления, ионного легирования, осаждения и вакуумного напыления, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять момент окончания элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с рабочими пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с вакуумным и щипковым пинцетами при изготовлении изделий микроэлектроники

Операционные универсальные карты по выполнению технологических операций на установках плазмохимического травления, ионного легирования, вакуумного напыления и осаждения, используемые для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Работать с балластными пластинами при изготовлении изделий микроэлектроники

Осуществлять действия при нештатных ситуациях, возникающих на установках плазмохимического травления, ионного легирования, осаждения и вакуумного напыления во время проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологических установок, используемых для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Осуществлять взаимодействие при выявлении нештатных ситуаций, возникающих на установках, с наладчиком технологического оборудования и инженером по наладке и эксплуатации оборудования

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при проведении элионных процессов изделий микроэлектроники

Осуществлять взаимодействие при выявлении несоответствующей рабочей продукции со сменным инженером-технологом

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве

A/03.4

Контроль качества готовой продукции после проведения элионных процессов при производстве изделий микроэлектроники

Проверка технической готовности установки визуального контроля (микроскопа), используемой при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять техническое состояние измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Пользоваться измерительным оборудованием визуального контроля, используемым при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологического и измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с кассетами и контейнерами для хранения и транспортировки рабочих пластин при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при изготовлении изделий микроэлектроники

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Проверка технической готовности установки контроля толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять техническое состояние измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Пользоваться измерительным оборудованием контроля толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев, используемым при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологического и измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с кассетами и контейнерами для хранения и транспортировки рабочих пластин при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при изготовлении изделий микроэлектроники

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Проверка технической готовности установки контроля линейных размеров, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять техническое состояние измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Пользоваться измерительным оборудованием контроля линейных размеров, используемым при изготовлении изделий микроэлектроники

Расположение технологического и измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы с кассетами и контейнерами для хранения и транспортировки рабочих пластин при изготовлении изделий микроэлектроники

Правила работы персонала в чистых производственных помещениях

Требования охраны труда при работе на установках и правила пожарной безопасности при изготовлении изделий микроэлектроники

Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве

Проверка технической готовности установки контроля толщины металлических слоев, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники

Определять техническое состояние измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники

Полный текст документа вы можете просмотреть в коммерческой версии КонсультантПлюс.